相对湿度是洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件，我们常常需要花费一定的资金来控制洁净室内的相对湿度。

这是因为相对湿度有一系列可能使洁净室总体表现下降的因素，其中包括细菌生长、工作人员舒适感、出现静电荷、金属腐蚀、水汽冷凝、吸水性等。

细菌、霉菌等在相对湿度超过60%的环境中可以活跃的繁殖，一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长。在相对湿度处于40%至60%的范围之间时，可以使细菌的影响以及呼吸道感染降至最低。

相对湿度在40%至60%的范围同样也是人类感觉舒适的范围。湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤皲裂，呼吸道不适以及情感上的不快。

相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中，半导体洁净室一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。

在半导体洁净室中控制相对湿度是有严格标准的，不能随意调节。但是，随着时间的变化，最好回顾一下常见的被普遍接受的实践的原因和基础。